叶韦韦 华南师范大学电信工程系99级
引言
本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。 传统的椭偏仪由于使用了直流电机，在定位过程中存在自动化水平低、操作复杂、精度难以保证和成本高（因需要配高精度光电旋转编码器）等不足，为提高椭偏仪的定位精度和自动化水平，研制出一种高精度自动定位系统无疑具有十分重要的意义。
本系统采用步进电机代替直流电机，但现有步进电机的最小步距角还未能达到本系统的要求，所以要在步进细分技术上作探讨。利用步进电机的准确动作和步进电机的细分技术，解决椭偏仪的角度与光强必须准确对应关系的问题。其中，当步进电动机的细分角度越小，越有利于提高步进电动机的角位、点位及连续控制方面的定位精度，越有利于与计算机联机，实现全自动化控制。同时，还可以大大提高步进电机的分辨率，大大改善步进电动机在动态运转时的特性。
由于工业技术的不断进步，在自动化控制、精密机械加工、航空航天技术以及所有要求高精度定位、自动记录、自动瞄准等高新技术领域内，对步进电机的细分要求也越来越高。
因此，多年来，国内外的同行都在努力寻求步进电动机细分技术的最佳方案及最高细分精度。本文所介绍的自动定位系统是在原椭偏仪系统的前提下，采用步进电机计算机细分控制技术建立起来的。
一．一．步进电机的基本原理
步进电机作为执行元件，是机电一体化的关键产品之一, 广泛应用在各种自动化控制系统中。随着微电子和计算机技术的发展，步进电机的需求量与日俱增，在各个国民经济领域
都有应用。
步进电机是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(称为“步距角”)，它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的；同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度，从而达到调速的目的。步进电机可以作为一种控制用的特种电机，利用其没有积累误差(精度为100%)的特点，广泛应用于各种开环控制。
现在比较常用的步进电机包括反应式步进电机（VR）、永磁式步进电机（PM）、混合式步进电机（
HB）和单相式步进电机等。
永磁式步进电机一般为两相，转矩和体积较小，步进角一般为7.5度或15度；
反应式步进电机一般为三相，可实现大转矩输出，步进角一般为1.5度，但噪声和振动都很大。反应式步进电机的转子磁路由软磁材料制成，定子上有多相励磁绕组，利用磁导的变化产生转矩。
混合式步进电机是指混合了永磁式和反应式的优点。它又分为两相和五相：两相步进角一般为1.8度而五相步进角一般为 0.72度。这种步进电机的应用最为广泛，也是本次细分驱动方案所选用的步进电机。
步进电机的一些基本参数：
电机固有步距角：
它表示控制系统每发一个步进脉冲信号，电机所转动的角度。电机出厂时给出了一个步距角的值，如86BYG250A型电机给出的值为0.9°/1.8°（表示半步工作时为0.9°、整步工作时为 1.8°），这个步距角可以称之为‘电机固有步距角’，它不一定是电机实际工作时的真正步距角，真正的步距角和驱动器有关。
步进电机的相数：
是指电机内部的线圈组数，目前常用的有二相、三相、四相、五相步进电机。电机相数不同，其步距角也不同，一般二相电机的步距角为0.9°/1.8°、三相的为0.75°/1.5°、五相的为0.36°/0.72° 。在没有细分驱动器时，用户主要靠选择不同相数的步进电机来满足自己步距角的要求。如果使用细分驱动器，则‘相数’将变得没有意义，用户只需在驱动器上改变细分数，就可以改变步距角。
保持转矩（HOLDING TORQUE）：
是指步进电机通电但没有转动时，定子锁住转子的力矩。它是步进电机最重要的参数之一，通常步进电机在低速时的力矩接近保持转矩。由于步进电机的输出力矩随速度的增大而不断衰减，输出功率也随速度的增大而变化，所以保持转矩就成为了衡量步进电机最重要的参数之一。比如，当人们说2N.m的步进电机，在没有特殊说明的情况下是指保持转矩为2N.m的步进电机。
DETENT TORQUE：
是指步进电机没有通电的情况下，定子锁住转子的力矩。DETENT TORQUE 在国内没有统一的翻译方式，容易使大家产生误解；由于反应式步进电机的转子不是永磁材料，所以它没有DETENT TORQUE。
步进电机的一些特点：
胶囊模具
1． 1．一般步进电机的精度为步进角的3-5%，且不累积。
2． 2．步进电机外表允许的最高温度。
步进电机温度过高首先会使电机的磁性材料退磁，从而导致力矩下降乃至于失步，因此电机外表允许的最高温度应取决于不同电机磁性材料的退磁点；一般来讲，磁性材料的退磁点都在摄氏130度以上，有的甚至高达摄氏200度以上，所以步进电机外表温度在摄氏80-90度完全正常。
3． 3．步进电机的力矩会随转速的升高而下降。
当步进电机转动时，电机各相绕组的电感将形成一个反向电动势；频率越高，反向电动势越大。在它的作用下，电机随频率（或速度）的增大而相电流减小，从而导致力矩下降。
4．步进电机低速时可以正常运转，但若高于一定速度就无法启动，并伴有啸叫声。
步进电机有一个技术参数：空载启动频率，即步进电机在空载情况下能够正常启动的脉冲频率，如果脉冲频率高于该值，电机不能正常启动，可能发生丢步或堵转。在有负载的情况下，启动频率应更低。如果要使电机达到高速转动，脉冲频率应该有加速过程，即启动频率较低，然后按一定加速度升到所希望的高频（电机转速从低速升到高速）。
步进电动机以其显著的特点，在数字化制造时代发挥着重大的用途。伴随着不同的数字化技术的发展以及步进电机本身技术的提高，步进电机将会在更多的领域得到应用。
二．二．步进电机驱动器的原理
步进电机的运行要有一电子装置进行驱动, 这种装置就是步进电机驱动器, 它是把控制系统发出的脉冲信号，加以放大以驱动步进电机。步进电机的转速与脉冲信号的频率成正比，控制步进脉冲信号的频率，可以对电机精确调速；控制步进脉冲的个数，可以对电机精确定位。
典型的步进电机驱动控制系统主要由三部分组成：
1. 步进控制器，由单片机实现。
2．驱动器，把单片机输出的脉冲加以放大，以驱动步进电机。
3．步进电机。
典型的步进电机驱动控制电路图如下：
图中单片机的I/O口一位控制一相绕组，根据所选定的步进及控制方式可写出相应的控制方式的数学模型，如三相单三拍、三相双三拍、三相六拍。
现以三相六拍为例：
步序控制位 C B A控制模型D7D6D5D4D3D2D1D0
A11111001F9H
AB11111011FBH
B11111010FAH
BC11111110FEH
C11111100FCH
烟气脱硫设备CA11111101FDH 以上为步进电机正转时的控制顺序及数学模型。因此，步进驱动控制器实际上就是按上述的控制方式所规定的顺序送脉冲序列，即可实现驱动步进电机三相六拍方式的转动。输入顺序脉冲序列的速率就是步进电机的速率。
这种典型的步进电机驱动控制方法及其电路，只能实现步进电机步距角为原来固定步距角的一半。当要求实现步距角细分时，该方法就不能达到要求了，所以在这里就要引入步进电机细分技术方案的探讨。
一．三．细分技术方案探讨
电缆转接箱细分的基本概念为：步进电机通过细分驱动器的驱动，其步距角变小了。如驱动器工作在10细分状态时，其步距角只为‘电机固有步距角’的十分之一，也就是：当驱动器工作在不细分的整步状态时，控制系统每发一个步进脉冲，电机转动1.8°；而用细分驱动器工作在10细分状态时，电机只转动了0.18°。细分功能完全是由驱动器靠精确控制电机的相电流所产生的，与电机无关。
步进电机的细分技术实质上是一种电子阻尼技术（请参考有关文献），其主要目的是提高电机的运转精度，实现步进电机步距角的高精度细分。其次，细分技术的附带功能是减弱或消除步进电机的低频振动，低频振荡是步进电机（尤其是反应式电机）的固有特性，而细分是消除它的唯一途径，如果步进电机有时要在共振区工作（如走圆弧），选择细分驱动器是唯一的选择。
驱动器细分后的主要优点为：完全消除了电机的低频振荡；提高了电机的输出转矩，尤其是对三相反应式电机，其力矩比不细分时提高约30-40% ；提高了电机的分辨率，由于减小了步距角、提高了步距的均匀度，‘提高电机的分辨率’是不言而喻的。
以上这些优点，尤其是在性能上的优点，并不是一个量的变化，而是质的飞跃。
因此，在性能上的优点是细分的真正优点。由于细分驱动器要精确控制电机的相电流，所以对驱动器要有相当高的技术要求。
目前，国内外的步进电动机细分技术的最高微步距细分水平为25.5″，而随着科学和工业技术发展，这一细分水平对于目前很多要求5″以下的微步距角来说，仍远远不能满足要求。为什么长期以来步进电动机的细分技术停留在25.5″的水平上而不能再细分？
对这一问题的研究结果表明，现有技术大多采用以下两种细分方法：
方法一：
首次获得较高分辨率的细分方法采用的是一种称为：半拍步进的方法，即在对步进电动机的步距角进行细分时，将步进电动机的控制位置数（以四相混合式步进电动机为例）的四拍通电逻辑顺序变为八拍通电逻辑顺序，从而将步进角降为原来的一半。以后在这种方法的基础上继续改进为电流合成矢量ih，使ih不是一下变动45个电角度，而是一次变化一个较小的角度θf，这样就将步距角由原来的45°变为后来较小的微步距角θf。当通电时，电流合成矢量在0～45°范围内，仅让一相绕组的电流在变化，即只有ia在变化，ib不变；在45°～90°范围内，仅让ib一组绕组的电流变化，ia不变。这种细分驱动方法的优点是只需要改变某一相的电流值，因此在硬件电路的设计上就比较容易实现。但这种方法却带来了一个不可克服的缺陷，即电流合成矢量ih在旋转过程中的幅值是处在不断变化中，从而引起滞后角
△已大于所要求细分的不断变化。当细分数很大、微步距角非常小时，滞后角变化的差值θ
的微步距角，使得微步距角的继续细分实际上失去了意义。采用现有技术细分方法的电流矢量旋转示意图如图1。
△对细分的影响如下图：
现有技术的距角特性曲线中反映的滞后角θ透镜设计
自来水检漏(纵轴T表示转距，横轴θ表示转子的位置转角)
方法二：
利用单片机的脉冲宽度可调波（PWM），使原来的一个矩形脉冲波分解成一个阶梯波形，若设原来阶梯波角度为θ，则按阶梯波的步距角应为θ/n，其中n为阶梯波的个数。其优点是在阶梯波驱动步进电机的时候，虽然能通过单片机产生的PWM波很灵活地改变输出脉冲的高低和长短，从而实现步进电机的柔性控制和实现驱动大功率的步进电动机。但由于驱动电路复杂和在定位的时候可能会产生振动，若其振动的角度超过了细分的最小角度，则不适合高精密仪器的定位要求。
铝合金橱柜柜体
另外，步进电机按运行频率工作时，启动和停止都需要有一个缓慢的升频和降频的过程。启动时，可
在启动频率之下启动步进电机，然后逐渐上升到运行频率；停止时，先将频率逐渐降低到启动频率以下才能停止。特别是负载转动惯性比较大时，该现象很明显以致严重地影响到细分步进转角的非线性和均匀旋转的控制。
这就是现有细分技术方案不能达到超高分辨的根本原因。为解决这个问题，很多资料都曾经提出对细分电流进行修正的方法，但一直未见一个实用、统一的数学模型及可行的细分
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