97油泵资料网_^_r)q_i };h1O_R2u_L_c-p_m_i_R0 为什么要在制造过程中采取防静电控制措施？我们从以下三个方面来说明。 /D_| \_p8\_u!t097油泵资料网旋转滑梯x3p$B!s^!F3i 1 多数电子元器件是静电敏感器件 97油泵资料网_[_N_l_UN(Yg.F:N.k多数未采取保护措施的元器件静电放电敏感度都是很低，很多在几百伏的范围，如MOS单管在100-200V之间，GaBs FET在100－300V之间，而且这些单管是不能增加保护电路的；一些电路尤其是 _U_G_s_MI_W*X_j0G0光固化剂}_e h C#a_i6J0 DMOS ID采取了静电保护设计，可虽然以明显的提高抗ESD水平，但大多数也只能达到2000－4000V，而在实际环境中产生的静电电压则可能达到上万伏(如第1章的表1.4和表1.6。因此，没有防护的元器件很容易受到静电损伤。而且随着元器件尺寸的越来减小，这种损伤就会越来越多。所以我们说，绝大多数元器件是静电敏感器件，需要在制造、运输和使用过程中采取防静电保护措施。表2.1列出了一些没有静电保护设计器件的静电放电敏感度。 _M!D_yU3r7T_\3m_t08u7N(V7m#M8?"p_e0 2 静电对电子行业造成的损失很大 97油泵资料网,W_h+N;G%r_s_^
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电子行业如微电子、光电子的制造和使用厂商因为静电造成的损失和危害是相当严重的。据美国1988年的报道，它们的电子行业中，由于ESD的影响，每年的损失达50亿美元之多；据日本统计，它们不合格的电子器件中有45％是由于静电而引起的；我国每年因静电危害造成的损失也至少有几千万。美国Ti公司对某一年对客户失效器件原因进行分析统计的结果，从中可以看到由EOS/ESD引起的失效占总数的47%；图1.2是美国半导体可靠性新闻对1993年从制造商、测试方和使用现场得到的3400例失效案例进行的统计，从中可以看到,EOS/ESD造成的失效也达到20%。而图2.3是一个DMOS器件和一个双极型器件在受到ESD损伤后芯片内部的相貌像。
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"E_l)X_r_u_@_r0 ESD对电子元器件的危害还表现在它的潜在性。即器件在受到ESD应力后并不马上失效，而会在使用过程中逐渐退化或突然失效。这时的器件是"带伤工作"。这是人们对静电危害认识不够的一个主要原因。实际上，静电放电对元器件损伤的潜在性和累积效应会严
重地影响元器件的使用可靠性。由于潜在损伤的器件无法鉴别和剔除，一旦在上机应用时失效，造成的损失就更大。而避免或减少这种损失的最好办法就是采取静电防护措施，使元器件避免静电放电的危害。
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图2.4是一个器件受到ESDktkp-073潜在损伤的例子，器件的功能没有失效，只是某个管脚的I-V特性发生了一些变化。 97油泵资料网4b'X%B W_B
;p p_p2Z"P:e6w_E,x0 对一种型号的两组净烟器DMOS ID进行过可靠性对比试验。一组是经历过低于其失效阈值较多电压的ESD试验而功能完全正常的样品，另一组是未经过任何试验的良品。寿命试验的结果是前者的中位寿命(累积失效率为50％的寿命)低于后者2个量级以上。这充分说明了ESD潜在损伤对器件可靠性的影响。 三明治面料97油泵资料网_\ S g
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3 国内外企业的状况法。美军标883E"微电路试验方法"中关于ESD等级评价的标准已先后7次修订，现在已是3015.7版，而且很多标准明确规定军用微电路必须达到2kV的ESD等级。
美国多数主要的电子制造商在八十年代初已经建立了他们的ESD组织机构，专门负责ESD方面的工作，主要有防静电设计、静电检测、静电防护以及管理、培训等。
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