芯片逆向与竞品分析FIB-TEM篇

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集成电路测试在芯⽚设计产业发达的国家,特别是北美和西欧,逆向芯⽚解密⼯程并⾮作为⼀种完整的设计⽅法⽽存在,⽽是⼀种竞争⼿段和保护知识产权的⼿段。这⾜以说明芯⽚逆向分析在半导体器件⾏业是不可或缺的技术。
完整的逆向分析过程繁复,需要诸多设备和技术来完成芯⽚整体结构的形貌和数据提取。
如今芯⽚越来越精细化,解密芯⽚的难度越来越⾼,芯⽚的逆向分析,可以简单理解成⼀种芯⽚解密的过程。
通过逆向分析,我们可以分析市场中先进的芯⽚,对其整体形貌、内部结构进⾏研究,在深⼊解析中学习其基本技巧或新型原理,并融汇⾃⼰的知识和制造技术,进⾏再创新的设计和制造,最终研究出更好的产品。
透射电⼦显微镜(TEM)可⽤于观察样品的微观形貌、可进⾏样品的晶体结构分析、可进⾏纳⽶尺度的微区或晶粒的成分分析,其⼴泛应⽤于材料、物理、化学、⽣物、电⼦等领域。公司专注于芯⽚、激光器件等半导体材料的检测与服务,其具体功能如下:
透射电镜样品制备是TEM分析技术的关键⼀环,特别是制备半导体芯⽚样品,由于电⼦束的穿透⼒很弱,
因此⽤于TEM的样品必须制备成厚度⼩于100nm的薄⽚。通常会⽤到聚焦离⼦束 FIB制样,我司⽬前拥有三台聚焦离⼦束FIB可⽤于芯⽚TEM样品制备。
电子管功放制作FIB制备芯⽚透射样品过程
LED芯⽚膜层成分分析
TEM能谱⾯扫分析(EDS Mapping)
芯⽚膜层成分分析 TEM能谱线扫分析(EDS Line scan)
透射电镜 EDS Line scan ⽤于分析芯⽚外延结构的成分,可得到每层外延材料的元素类型、含量及分布信息,指导后续芯⽚的材料选择及设计。
芯⽚量⼦阱膜层尺⼨测量(厚度⼩于10nm)
电子政务信息平台客户送样委托芯⽚竞品分析,测量半导体芯⽚膜层尺⼨,可得到量⼦阱区域膜层结构的纳⽶级厚度,进⽽分析相关产品的性能,可指导后续产品的⼯艺优化。
半导体材料缺陷观察(位错
离子风机aryang位错是半导体单晶材料在⽣长过程中不可避免的缺陷之⼀,TEM可⽤来观察半导体单晶材料的位错缺陷,对于优化其⽣长过程中的⼯艺参数具有重要意义。民宿管理系统
g = 0002 刃位错观察 g = 11-20 螺旋位错及混合位错观察
单晶、多晶材料的电⼦衍射
电⼦衍射主要⽤于晶体材料的晶型确定及晶体材料⽣长⽅向分析。
氮化镓电⼦衍射花样标定
电⼦衍射花样标定主要⽤于晶体材料的晶型确定。

本文发布于:2024-09-24 04:15:52,感谢您对本站的认可!

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