光刻装置和器件的制造方法[发明专利]

专利名称:光刻装置和器件的制造方法
专利类型:发明专利
保暖鼠标垫发明人:P·M·H·沃斯特斯,H·雅各布斯,H·K·范德肖特,P·鲁特格尔斯
申请号:CN03143859.8
压力容器安全阀申请日:20030611
公开号:CN1475864A
公开日:
垂直母排
油路分配器
20040218
小型变速箱专利内容由知识产权出版社提供
摘要:线性密封100密封在光刻投射装置的真空室VC壁110中形成的槽112上。线性密封100包括延伸密封元件120,该元件在可选择位置125处局部地偏离槽112,从而管道140能在延伸密封元件120局部偏离的位置从真空室VC外部通到真空室VC内部。
申请人:ASML荷兰有限公司
地址:荷兰维尔德霍芬
国籍:NL
代理机构:中国专利代理(香港)有限公司
毛竹片
代理人:黄力行

本文发布于:2024-09-20 17:25:42,感谢您对本站的认可!

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标签:密封   专利   代理   装置   光刻   元件
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