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  • 碲锌镉衬底表面加工方法、装置及组件[发明专利]
    (19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201811282244.8(22)申请日 2018.10.29(71)申请人 中国电子科技集团公司第十一研究所地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号(72)发明人 侯晓敏 刘江高 张瑛侠 徐强强 吴卿 孙浩 (74)专利代理机构 工业和信息化部电子专利中心 11010代理人 齐洁
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