专利名称：液处理装置和液处理装置的示教方法专利类型：发明专利发明人：桾本裕一朗，水篠真一，羽山隆史，饭田成昭申请号：CN201910106647.5申请日：20190202公开号：CN110137104A公开日：20190816专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提供液处理装置和液处理装置的示教方法，在使进行液处理用的喷嘴的卡合部与喷嘴搬送体的被卡合部卡合来搬送喷嘴的液处理装置中，能够容易且准