CN200780040165.X，用于硅表面和层的含颗粒的蚀刻糊，本发明涉及呈蚀刻糊形式的含颗粒的蚀刻介质，该蚀刻糊适合于全区域或选择性蚀刻硅表面和层中和在由合适硅化合物形成的玻璃状表面中的极细线或结构的。本发明还涉及根据本发明的糊剂在蚀刻这种类型表面的方法中的用途。