专利名称：一种掩模版传输组件及光刻系统专利类型：发明专利发明人：王浩楠，关宏武，郎平，林继柱，佀海燕，温鹏申请号：CN202111627327.8申请日：20211228公开号：CN114280897A公开日：20220405专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明公开了一种掩模版传输组件及光刻系统，包括第一版库，用于承载版盒，第一版库连接有第一升降结构，以通过第一升降结构将目标掩模版传输至第一交

专利名称：一种掩模版传输组件及光刻系统专利类型：发明专利发明人：王浩楠，关宏武，郎平，林继柱，佀海燕，温鹏申请号：CN202111627327.8申请日：20211228公开号：CN114280897A公开日：20220405专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明公开了一种掩模版传输组件及光刻系统，包括第一版库，用于承载版盒，第一版库连接有第一升降结构，以通过第一升降结构将目标掩模版传输至第一交