专利名称：降冰片烯型聚合物，其组合物和使用这样的组合物的光刻方法柳条剥皮机专利类型：发明专利发明人：P·坎达纳拉什切，藤田一义,S·史密斯,L·F·罗迪斯srte申请号：CN201180024123.3声音采集器申请日：20110405pm2.5治理公开号：CN102892746A公开日：20130123专利内容由知识产权出版社提供摘要：根据本发明的实施方案提供了用于浸入式光刻方法的非自可成像降冰