源瓶、TCA瓶的更换程序当瓶内液面淹没出气长管高度低于15MM时，必须及时更换，为确保扩散源瓶或TCA瓶更换时操作者人身安全和设备安全，特制定本程序，操作者必须严格按本程序规定步骤和方法实施。一、操作前的准备和确认：1、更换前必须确认该管已退出工艺运行，控制屏上扩散小N2或清洗流量小N2 流量显示值为02、正确穿戴好防护服、耐酸碱长手套、自主送风式防毒面具，更换时必须两人在场，一人负责各操作步骤唱