专利名称：单晶硅棒参数自动检测装置专利类型：发明专利发明人：叶欣，汪辉，金光前，李财源，严顺康，洪昀，何守龙申请号：CN201811271334.7申请日：20181029公开号：CN109406982A公开日：20190301专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提供的单晶硅棒参数自动检测装置，能够自动、精准、快速的测量硅棒电阻率和导电型号。本发明所述的单晶硅棒参数自动检测装置，包括机架和设置