[19]中华人民共和国国家知识产权局[12]发明专利申请公布说明书[11]公开号CN 101206728A [43]公开日2008年6月25日[21]申请号200610147432.0[22]申请日2006.12.18[21]申请号200610147432.0[71]申请人中芯国际集成电路制造（上海）有限201203上海市浦东新区张江路18号[72]发明人马海 周宇 苏远志 [74]专利代