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一种用于进气结构的匀气盘[发明专利]
(10)申请公布号 CN 102437002 A(43)申请公布日 2012.05.02C N 102437002 A*CN102437002A*(21)申请号 201110388396.8(22)申请日 2011.11.29H01J 37/32(2006.01)(71)申请人中国科学院微电子研究所地址100029 北京市朝阳区北土城西路3号(72)发明人李楠席峰&nbs

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一种用于进气结构的匀气盘[发明专利]
(10)申请公布号 CN 102437002 A(43)申请公布日 2012.05.02C N 102437002 A*CN102437002A*(21)申请号 201110388396.8(22)申请日 2011.11.29H01J 37/32(2006.01)(71)申请人中国科学院微电子研究所地址100029 北京市朝阳区北土城西路3号(72)发明人李楠席峰&nbs

时间：2024-03-27 热度：5℃

一种用于进气结构的匀气盘[发明专利]
(10)申请公布号 CN 102437002 A(43)申请公布日 2012.05.02C N 102437002 A*CN102437002A*(21)申请号 201110388396.8(22)申请日 2011.11.29H01J 37/32(2006.01)(71)申请人中国科学院微电子研究所地址100029 北京市朝阳区北土城西路3号(72)发明人李楠席峰&nbs

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