专利名称：一种气浴装置及光刻机专利类型：发明专利发明人：李先明申请号：CN201811158115.8申请日：20180930公开号：CN110966916A公开日：20200407专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明公开了一种气浴装置及光刻机，属于光刻机技术领域。该气浴装置包括进风口、处理腔和出风口，所述出风口包括第一通道组和第二通道组，所述第一通道组和所述第二通道组朝靠近干涉仪方向依次设置