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专利名称：投影物镜倍率误差及畸变的检测装置及方法专利类型：发明专利发明人：杨志勇申请号：CN200810202413.2申请日：20081107公开号：CN101387833A公开日：20090318专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提供一种投影物镜倍率及畸变的检测装置以及方法，首先制备一具有栅格状透光标记的测量掩模版，同时提供镀铬面上涂覆正性光刻胶且没有图形的掩模版作为一转印掩模版，利用物

专利名称：一种掩模版传输组件及光刻系统专利类型：发明专利发明人：王浩楠，关宏武，郎平，林继柱，佀海燕，温鹏申请号：CN202111627327.8申请日：20211228公开号：CN114280897A公开日：20220405专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明公开了一种掩模版传输组件及光刻系统，包括第一版库，用于承载版盒，第一版库连接有第一升降结构，以通过第一升降结构将目标掩模版传输至第一交

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201810145886.7(22)申请日 2018.02.12(71)申请人 上海微电子装备(集团)股份有限 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号(72)发明人 丁功明　(74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司11332代理人 孟金喆(51)Int.

专利名称：一种编号自动生成器专利类型：发明专利发明人：黄文峰，曾文语，汪翔申请号：CN201310726686.8申请日：20131225公开号：CN103729426A公开日：20140416专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提供一种编号自动生成器，包括至少一模版字库、一序列器、一编号显示模版以及一编号生成模块；模版字库：用于建立一字库，字库中存放有配置的模版字及实现编号的实现类，模版字中

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