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  • 一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置
    1.本发明涉及气相沉淀技术领域，尤其涉及一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置。背景技术：2.化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积
    时间：2022-11-30  热度：78℃
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