(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 101834160 A(43)申请公布日 2010.09.15(21)申请号 CN201010155820.X(22)申请日 2010.04.23(71)申请人 浙江大学    地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号(72)发明人 张波 叶翼 郑勇军 史峥 严晓浪 (74)专利代理机

(10)申请公布号 CN 101728302 A(43)申请公布日 2010.06.09C N  101728302 A*CN101728302A*(21)申请号 200910227955.X(22)申请日 2009.12.08H01L 21/687(2006.01)B24B 29/00(2006.01)(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201 河北省三河市燕郊经

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920734502.5(22)申请日 2019.05.21(73)专利权人 昆山成功环保科技有限 215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房(72)发明人 黄雷　何志刚　(74)专利代理机构 苏州华博知识产权代理有限公司 32232代理人 黄珩(51)Int.

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911116850.7(22)申请日 2019.11.15(71)申请人 北京华卓精科科技股份有限 100084 北京市海淀区清华科技园(72)发明人 刘效岩　张程鹏　王建　程闻兴　(74)专利代理机构 北京头头知识产权代理有限公司 11729代理人 刘锋　宋国云(51)I

(10)申请公布号 CN 102222632 A(43)申请公布日 2011.10.19C N  102222632 A*CN102222632A*(21)申请号 201110189997.6(22)申请日 2011.07.07H01L 21/66(2006.01)(71)申请人北京思比科微电子技术股份有限100085 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室(72)发明人冯

(10)申请公布号(43)申请公布日              (21)申请号 201410165571.0(22)申请日 2014.04.23H01L 21/3105(2006.01)H01L 21/3213(2006.01)(71)申请人沈阳芯源微电子设备有限110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号(72)发

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 114496748 A(43)申请公布日 2022.05.13(21)申请号 CN202210038564.9(22)申请日 2022.01.13(71)申请人 长鑫存储技术有限公司    地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号(72)发明人 庄凌艺 (74)专

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910366387.5(22)申请日 2019.05.05(71)申请人 北京华卓精科科技股份有限 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层(72)发明人 朱煜　张豹　李健　杨开明　(74)专利代理机构 北京头头知识产权代理有限公司 11729

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911084727.1(22)申请日 2019.11.08(71)申请人 沈阳新松机器人自动化股份有限 110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号(72)发明人 朱洪彪　杨奇峰　徐方　谭学科　姚东东　凌霄　(74)专利代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002代

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 114295199 A(43)申请公布日 2022.04.08(21)申请号 CN202111517725.4(22)申请日 2021.12.09(71)申请人 北京京仪自动化装备技术股份有限公司    地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座(72)发明人

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号 CN 113451197 A(43)申请公布日 2021.09.28(21)申请号 CN202110724907.2(22)申请日 2021.06.28(71)申请人 深圳市星国华先进装备科技有限公司    地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-23号车间区501(72

专利名称：一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统专利类型：发明专利发明人：温育杰，程挚，李昌达，方晓宇，郭宜婷申请号：CN202010937768.7申请日：20200909公开号：CN111933545A公开日：20201113专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提出一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和所述第二晶圆为第一掺杂类型的晶圆；对所述第

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201611192640.2(22)申请日 2016.12.21(71)申请人 周正地址 201315 上海市浦东新区康桥镇康弘路580弄12号501室(72)发明人 周正　(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227代理人 张亚利　吴敏(51)Int.Cl.H01L&

专利名称：易于捡取的防静电晶圆切割膜专利类型：发明专利发明人：崔庆珑申请号：CN201210589842.6申请日：20121231公开号：CN103009758A公开日：20130403专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明属于半导体晶圆处理技术，涉及晶圆的保护用膜，特别是对静电需要降低风险的切割用膜，包含基材膜，胶粘层和离型膜。在基材膜内添加1％～10％的防静电母料，使基材膜的表面电阻率在1

(10)申请公布号 (43)申请公布日 2010.06.23*CN101750915A*(21)申请号 200810204611.2(22)申请日 2008.12.15G03F 7/42(2006.01)(71)申请人安集微电子(上海)有限201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室(72)发明人曹惠英  彭洪修  史永涛(74)专