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  • 一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法与流程
    本发明涉及传感器技术领域，具体是一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法。背景技术：随着武器智能化程度提高，精确打击武器越来越受到各个国家的重视，高冲击传感器可以使这些武器具有自动识别目标类型的功能，从
    时间：2022-12-05  热度：53℃
  • 一种高温压力传感器芯片的制作方法
    本实用新型涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种高温压力传感器芯片。背景技术：压力传感器是在现代工业生产过程中经常用来检测设备和产品的性能及参数等，其广泛应用于各种工业生产、航空航天等各行业，其中硅压阻
    时间：2022-12-05  热度：109℃
  • 一种高温压力传感器芯片及其制备方法与流程
    本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种高温压力传感器芯片及其制备方法。背景技术：压力传感器是在现代工业生产过程中经常用来检测设备和产品的性能及参数等，其广泛应用于各种工业生产、航空航天等各行业，其
    时间：2022-12-05  热度：68℃
  • 微机械传感器的制作方法
    本发明涉及一种微机械传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械传感器的方法。背景技术：现代封装技术需要使压力传感器的呈压力传感器膜片形式的压力敏感部件借助于特定的弹簧设计与传感器的其余部件机械解耦并且由此
    时间：2022-12-03  热度：42℃
  • 一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法
    本实用新型涉及一种传感器，尤其涉及一种压阻式MEMS温度传感器及其制作方法。背景技术：开关柜结构紧凑，空间环境复杂，存在高电压、高温度、强磁场及极强的电磁干扰环境，一般的温度传感器很难精确的测量到精确
    时间：2022-11-30  热度：62℃
  • 一种压阻式MEMS温度传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及一种传感器，尤其涉及一种压阻式mems温度传感器及其制作方法。背景技术：开关柜结构紧凑，空间环境复杂，存在高电压、高温度、强磁场及极强的电磁干扰环境，一般的温度传感器很难精确的测量到精确位置
    时间：2022-11-29  热度：52℃
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