专利名称：一种多冗余安全保护的PECVD推舟自动控制系统专利类型：实用新型专利发明人：钟新华，易文杰，王迪平，罗宏洋，孙雪平，胡振东申请号：CN201220171879.2申请日：20120421公开号：CN202576562U公开日：20121205专利内容由知识产权出版社提供摘要：本实用新型公开了一种多冗余安全保护的PECVD推舟自动控制系统，属于PECVD推舟保护设备领域。为了防止石英管和石

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020939948.4(22)申请日 2020.05.28(73)专利权人 湖南红太阳光电科技有限 410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人 朱辉　梁浩　谭瞻　刘帅　张春成　赵志然　(74)专利代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008