T el :0571******** Email :zhui @coer. 收稿日期:20031116可调光衰减器的光衰减量线性补偿曹钟慧 晏辉鸣 吴兴坤(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州310027)摘 要 设计制成一种数字化电磁驱动微机械M OE MS 可调光衰减器1与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调
T el :0571******** Email :zhui @coer. 收稿日期:20031116可调光衰减器的光衰减量线性补偿曹钟慧 晏辉鸣 吴兴坤(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州310027)摘 要 设计制成一种数字化电磁驱动微机械M OE MS 可调光衰减器1与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调