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  • 边缘接触夹持式晶圆末端执行器[发明专利]
    (10)申请公布号 CN 101728302 A(43)申请公布日 2010.06.09C N  101728302 A*CN101728302A*(21)申请号 200910227955.X(22)申请日 2009.12.08H01L 21/687(2006.01)B24B 29/00(2006.01)(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201 河北省三河市燕郊经
    时间：2024-06-01  热度：8℃
  • 边缘接触夹持式晶圆末端执行器[发明专利]
    (10)申请公布号 CN 101728302 A(43)申请公布日 2010.06.09C N  101728302 A*CN101728302A*(21)申请号 200910227955.X(22)申请日 2009.12.08H01L 21/687(2006.01)B24B 29/00(2006.01)(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201 河北省三河市燕郊经
    时间：2024-06-06  热度：5℃
  • 边缘接触夹持式晶圆末端执行器[发明专利]
    (10)申请公布号 CN 101728302 A(43)申请公布日 2010.06.09C N  101728302 A*CN101728302A*(21)申请号 200910227955.X(22)申请日 2009.12.08H01L 21/687(2006.01)B24B 29/00(2006.01)(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201 河北省三河市燕郊经
    时间：2024-04-03  热度：8℃
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