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六氟化钨气体的纯化方法[发明专利]
专利名称:六氟化钨气体的纯化方法专利类型:发明专利发明人:王占卫,李绍波,宋富财,石兴涛,李翔宇,杨庆平,李本东,柳彤申请号:CN200710062167.0申请日:20070616jnc录音笔公开号:CN101070190A公开日:培训经理认证银虎20071114专利内容由知识产权出版社提供摘要:本发明涉及一种六氟化钨气体的纯化方法,首先将粗品储罐内的不纯的六氟化钨气体通入内部装填有多孔球
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