CN85203385，带有保护膜的硅抛光片与外延片，该实用新型属于半导体材料,即带有保护膜的硅抛光片与外延片.保护膜的厚度500A以上;保护膜可是有机物,也可是无机物,如SiO2、Al2O3、或光刻胶、硅油等等.合格的硅抛光片与外延片加上保护膜以后,可以用袋装或盒装长期存放和远途运输,使硅抛光片与外延片不沾污、不划伤,以保持其高完美度与高洁净度.以利提高半导体材料的质量,从而提高半导体器件的质量.此保护膜生产工艺简单、成本低.