专利名称：图形关键尺寸的量测方法专利类型：发明专利发明人：栾会倩，吴长明，姚振海，金乐，姜冒泉申请号：CN202011468395.X申请日：20201214公开号：CN112612184A公开日：20210406专利内容由知识产权出版社提供摘要：本申请公开了一种图形关键尺寸的量测方法，涉及半导体制造领域。该图形关键尺寸的量测方法包括利用曝光机对晶圆上的各个曝光单元进行曝光，所述晶圆被曝光后各个

专利名称：图形关键尺寸的量测方法专利类型：发明专利发明人：栾会倩，吴长明，姚振海，金乐，姜冒泉申请号：CN202011468395.X申请日：20201214公开号：CN112612184A公开日：20210406专利内容由知识产权出版社提供摘要：本申请公开了一种图形关键尺寸的量测方法，涉及半导体制造领域。该图形关键尺寸的量测方法包括利用曝光机对晶圆上的各个曝光单元进行曝光，所述晶圆被曝光后各个