CN201611099682.1，基于微线圈的全数字式涡流栅传感器，本发明提出一种基于微线圈的全数字式涡流栅传感器，由定尺和动尺两部分组成，二者面对面叠合在一起，并保持有一定间隙，定尺上布置若干反射导体，动尺上布置有若干线圈和电路，线圈和反射导体是布置在多个码道之上的，码道数大于2，而且线圈和反射导体是按照绝对编码的方法和码制进行布置的，从而实现位移的绝对编码。定尺和动尺采用PCB工艺制作，定尺表面制作有多个反射导体，定尺表面嵌入多个采用MEMS工艺制作线圈，线圈的一侧制作有电路。采用LC振荡器为所有线圈

CN201611099682.1，基于微线圈的全数字式涡流栅传感器，本发明提出一种基于微线圈的全数字式涡流栅传感器，由定尺和动尺两部分组成，二者面对面叠合在一起，并保持有一定间隙，定尺上布置若干反射导体，动尺上布置有若干线圈和电路，线圈和反射导体是布置在多个码道之上的，码道数大于2，而且线圈和反射导体是按照绝对编码的方法和码制进行布置的，从而实现位移的绝对编码。定尺和动尺采用PCB工艺制作，定尺表面制作有多个反射导体，定尺表面嵌入多个采用MEMS工艺制作线圈，线圈的一侧制作有电路。采用LC振荡器为所有线圈