专利名称：一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统专利类型：发明专利发明人：匡治安，于兴虎，高会军申请号：CN202010546633.8申请日：20200616公开号：CN112462601A公开日：20210309专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述

专利名称：一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统专利类型：发明专利发明人：匡治安，于兴虎，高会军申请号：CN202010546633.8申请日：20200616公开号：CN112462601A公开日：20210309专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述

专利名称：一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统专利类型：发明专利发明人：匡治安，于兴虎，高会军申请号：CN202010546633.8申请日：20200616公开号：CN112462601A公开日：20210309专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述

专利名称：一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统专利类型：发明专利发明人：匡治安，于兴虎，高会军申请号：CN202010546633.8申请日：20200616公开号：CN112462601A公开日：20210309专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述