ZnO薄膜P双活接球阀型掺杂的研究现状【摘 要】 ZnO是一种宽禁带半导体材料(3.37eV),具有许多优异的光电特性。但一般制备出的ZnO薄膜材料均呈N型导电,要实现ZnO在光电器件领域的广泛应用,必须获得性能良好p型ZnO。然而,由于受主元素在ZnO中较低的固溶度、较深的受主能级、施主缺陷的自补偿等因素,很难制备出性能优异的p-ZnO。本文对P型ZnO薄膜的研究现状做一简要综述。【关键词】 Z
第41卷第10期2020年10月发光学报CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCEVol.41No.10Oct.,2020文章编号:1000-7032(2020)10-1262-07收稿日期:2020-07-17;修订日期:2020-08-16基金项目:吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目(201649)资助Supported by Scientific and Techno