CN201980069874.3，半导体水溶性组合物及其使用，[课题]提供一种能够防止图案塌陷并抑制桥缺陷的半导体水溶性组合物。[解决方案]一种半导体水溶性组合物，包含具有式(I)表示的一价阴离子部分和除氢离子之外的一价阳离子部分的一种或多种表面活性剂，以及水，式(I)：链1?X1?N??X2?链2(I)。式中，X1和X2各自独立地是?C(＝O)?或?S(＝O)2?，并且链1和链2各自独立地是直链或支链的C1?20烷基，存在于所述C3?20烷基中的一个或多个H被F替代，存在于链1中的一个或多个亚甲基可以被