第49卷第11期2021年6月四季养生论文广州化工Guangzhou Chemical IndustryVol.49No.11Jun.2021一种适用于电子气工厂的新型制氮机工艺研究邓韬,王开兵,钟小禹,刘巍,王君,全诗林(广州广钢气体能源股份有限公司,广东广州511458)摘要:目前,随着电子气行业对氮气的性能要求越来越严苛,需要氮气设备具有包括氮气供应连续性、氮气供应可靠性及氮气产品杂质含量等
第49卷第11期2021年6月广州化工Guangzhou Chemical IndustryVol.49No.11Jun.2021一种适用于电子气工厂的新型制氮机工艺研究邓韬,王开兵,钟小禹,刘巍,王君,全诗林(广州广钢气体能源股份有限公司,广东广州511458)摘要:目前,随着电子气行业对氮气的性能要求越来越严苛,需要氮气设备具有包括氮气供应连续性、氮气供应可靠性及氮气产品杂质含量等要求。现有的