专利名称：具有平均照明路径和平均收集路径的共焦检查系统专利类型：发明专利发明人：E·L·赫尔,M·A·泰雷尔,M·A·阿尔博雷申请号：CN201580065112.8申请日：20151222公开号：CN107430263A公开日：20171201专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提供了一种能够对样本进行光学表征的共焦检查系统。物镜或单独的入射透镜和返回透镜，可将入射光从光源递送到样本并可从样

一种现代先进成像技术：共焦显微术摘要：共焦显微术的概念自20世纪50年代末由美国的Minsky提出以来，由于其具有高分辨率特别是纵向高分辨率，以及数字图像三维层析的特点，逐渐受到越来越多专家的重视，被广泛应用于生物医学、材料科学、微电子制造、精密测量等领域的检测与分析。本文简要介绍共焦显微术的原理，分析影响其性能的几个重要因素，讨论了几种较典型的共焦显微镜的构造和特点。结合我们现有的技术储备，阐述