专利名称：一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统专利类型：发明专利发明人：温育杰，程挚，李昌达，方晓宇，郭宜婷申请号：CN202010937768.7申请日：20200909公开号：CN111933545A公开日：20201113专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提出一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和所述第二晶圆为第一掺杂类型的晶圆；对所述第

专利名称：一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统专利类型：发明专利发明人：温育杰，程挚，李昌达，方晓宇，郭宜婷申请号：CN202010937768.7申请日：20200909公开号：CN111933545A公开日：20201113专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提出一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和所述第二晶圆为第一掺杂类型的晶圆；对所述第

专利名称：一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统专利类型：发明专利发明人：温育杰，程挚，李昌达，方晓宇，郭宜婷申请号：CN202010937768.7申请日：20200909公开号：CN111933545A公开日：20201113专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提出一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和所述第二晶圆为第一掺杂类型的晶圆；对所述第

专利名称：一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统专利类型：发明专利发明人：温育杰，程挚，李昌达，方晓宇，郭宜婷申请号：CN202010937768.7申请日：20200909公开号：CN111933545A公开日：20201113专利内容由知识产权出版社提供摘要：本发明提出一种光阻层阻挡能力的检测方法及检测系统，包括：提供第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和所述第二晶圆为第一掺杂类型的晶圆；对所述第