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  • 一种微镜结构及形成方法、微镜阵列以及探测器与流程
    [0001]本发明涉及半导体集成电路和探测器技术领域，尤其涉及一种能实现任意方向偏转的微镜结构及其形成方法、微镜阵列和探测器。背景技术：[0002]目前，微镜已成为微机电系统(mems)产品中的重要一
    时间：2022-12-04  热度：58℃
  • 一种微镜结构、微镜阵列以及探测器
    1.本实用新型涉及半导体集成电路和探测器技术领域，尤其涉及一种能实现任意方向偏转的微镜结构、微镜阵列和探测器。背景技术：2.目前，微镜已成为微机电系统(mems)产品中的重要一员，并已开始应用于车载激
    时间：2022-12-01  热度：52℃
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