CN201080008958.5，使用粒子束配向制备各向异性多层体的方法，本发明涉及一种通过使用粒子束蚀刻技术制备包含两个或更多个具有不同光轴的各向异性层的多层体的方法，通过所述方法获得的多层体，这种多层体作为光学补偿器或延迟器在光学和电光学器件中的用途，以及包含这种多层体的器件。