含立方烷的丙烯酸酯系成膜树脂和ArF光刻胶及其制备方法和光刻方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201811620801.2(22)申请日 2018.12.28(71)申请人 厦门恒坤新材料科技股份有限 361000 福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号(72)发明人 肖楠 宋里千 王静 (74)专利代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218代理人 赖秀华还
时间:2023-06-04 热度:29℃