CN201610960907.1，一种酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂及其制备方法，本发明公开了一种酰基硫脲咪唑啉类缓蚀剂及其制备方法。本发明酰基硫脲咪唑啉的结构式如下：其中：R1，R2相同或不同，且分别、单独或共同为具有1～20个C原子的直链或支链烃基、芳基、环烷基；n为1～8之间的整数。本发明酰基硫脲咪唑啉类缓蚀剂的制备方法包括：以有机酸和有机胺为反应原料，经两步脱水，合成咪唑啉中间体，再与硫氰酸盐、酰氯反应制备酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂。本发明的优点在于将硫脲基团引入咪唑啉分子结构中，形成酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂，形成分