CN202110150769.1，一种硅片光刻用防污输送设备，本发明公开了一种硅片光刻用防污输送设备，其结构干燥组件、清洗组件、输送装置、壳体、驱动组件、阻隔装置、控制器、电源线和底架，干燥组件右端与清洗组件固定连接，清洗组件内侧上部固接有输送装置；干燥组件左端固接有壳体，壳体底端与底架固定连接，本发明具有以下有益效果，通过在干燥组件左端设置清洗组件，达到了通过加设再洗部件以提高洁净度的有益效果；通过在干燥组件内部设置的均流装置和翻转组件，达到了通过加设均热与翻转部件以提高干燥效率的有益效果；通过在壳体左