CN201610846415.X，一种微调式升降装置，本发明提供了一种微调式升降装置，包括支撑板、驱动器、调节件及若干升降杆。支撑板位于腔体外且与腔体的底板平行，升降杆的下端均固定在支撑板上，升降杆的上端均呈密封的伸入真空腔内并形成承载工件的支撑面，调节件的上端与支撑板呈旋转的卡合连接，调节件的下端与驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接，驱动器通过调节件驱动支撑板做直线往复运动。由于本发明的调节件，一方面使得本发明的可微调式升降装置能对在真空环境下封装的0LED器件进行精准的微调，从而为提S高0LED器件的封装