CN202110130710.6，一种半导体制备用粉尘洁净设备，本发明公开了一种半导体制备用粉尘洁净设备，其结构包括撑座、洁净仓、仓口、帘布、观察窗、支脚、台持机构、位移组件、第一六轴机械臂、第二六轴机械臂、第一喷嘴、第二喷嘴、液灌机构、气灌机构、气净机构、照明灯、排气口、栅格和净台机构，本发明具有以下有益效果，通过夹台机械臂对承载台进行夹持后，使台持机构对承载台进行固定，使传送组件带动承载台移动后，使承载台随之筒第二六轴机械臂带动第二喷嘴，使液灌机构和气灌机构对承载台表面进行气液处理后，使净台机构对承载