一种低成本金属硅电阻压力传感器
CN201410549357.5,一种低成本金属硅电阻压力传感器,本发明的目的旨在提供一种新型低成本金属硅电阻压力传感器,其输出精度高装配应力小,过载性能良好。一种低成本金属硅电阻压力传感器,其特征是包括金属硅电阻芯体和与之配合安装的芯体支座,金属硅电阻芯体与位于芯体支座上的绑定板通过导线连接;金属硅电阻芯体与芯体支座之间通过焊缝位置焊接固定,并且金属硅应变式芯体中部制有应力释放槽;金属硅应变片位于芯体支座与绑定板之间。金属硅电阻芯体与芯体支座激光焊接。本发明压力传感器结构采用金属硅电阻敏感器件作为敏感器
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