pecvd测试

PECVD操作考试试题

一 填空题（30分）

1. 在操作界面PUMP单元里，evacuate 和vent分别代表

和 。

2. 操作界面中，压力传感器显示的两个数值＞900mbar和＜1mbar各代表 和 。

3. 每次 及________________________都要测试微波是否泄露。

4．SiNX减反膜为 ，若颜过深，应 工艺腔的传送带速度。

5．在盖板控制模式里，显示 ， ， 和 四

个 covers.

它们分别对应的腔或区域是 ， ， 和 。

二 解释PC中报警信息的含义（20分）

alarm

ort

stopped!!

Process chamber: System:

microwave 2 pressure

reflected power is low

to high

N2 Microwave

to 2:Cooling

error

Microwave

7: gen. error

meanings

三 问答题：（60分，前4题每题10分，最后一题20分）

1. 每天开始工作前需要点检的内容是哪些？

1

2．简述更换石英管的步骤和注意点。

3．简述开机（直到工艺运行）的步骤。

4．下料腔真空一直抽不下去的话应如何应对？

5．在哪些情况下需要启动手动传输操作模式，具体怎样操作？

2