CVD P5000设备Extension Encode异常分析及处理

中国设备工程China PlantEngineeringCVD P5000设备Extension Encode异常分析及处理周建平（无锡华润上华科技有限公司，江苏 无锡 214061）摘要：本文针对CVD P5000设备Extension Encode报警，从机械传动,电机驱动，系统Encode控制，设备干扰四方面就如何快速有效处理该异常在此作一全面的分析及处理，供各位参考。关键词：P5000；Encode；干扰；传片中图分类号：TN386.1 文献标识码：A 文章编号：1671-0711（2021）02（上）-0059-02P5000系列设备是CVD的主要设备，因此CVD设备状况与产能有着很大的关系。由于CVD P5000设备使用的年限都比较长，而且因为P5000设备的Wafer Transfer System的原因（在它的Wafer Transfer System中需要robot、cassette、elevator、susceptor及lift pin五者之间的密切配合），导致了传片故障的多发性，其中Extension

Encode报警处理耗时比较长，为使设备能够良好的运转，不让时间浪费在无故的消耗中，本文就P5000设备Extension

Encode报警原因进行一些分析，以求能够帮助我们快速解决这类问题。1 机械传动分析 1.1 Robot传片路径及结构在Atm下,Robot Blade从Cassette取片经过I/O

Slit Valve和Center finder Sensor Board到Elevator；Loadlock Chamber抽真空，Robot Blade 从Elevator取片经过Chamber Slit Valve到Process Chamber，Susceptor在Release位置取片，Process位置工艺，工艺完后在Lift位置Robot Blade经过Chamber Slit Valve取片到Elevator；Loadlock Chamber充大气，Robot Blade从Elevator取片到Cassette，如图1。1.2 Robot Blade Extension传动结构Extension Stepper Motor正反转通过Drive Belt到Winder Gear到Extension Winder Spool 经过Stainless

Steel Cable带动Extension Pulley驱动Extension Shaft

正反转，从而带动Robot Arm驱动Robot Blade伸缩，如图2、3。

2 机械传动引起的Encode报警原因和处理2.1 机械传动引起的Encode报警的原因（1）Slit阀开关不畅，则很有可能是手臂撞到Slit阀引起的Encode报警。（2）Susceptor和Lift的升降不到位，手臂撞到Sus或Lift会出现Encode报警。（3）Lift PIN断，会导致取片时圆片倾斜手臂撞到圆片出现Encode报警。（4）Extension轴承卡阻力大导致电机驱动负载增加引起电机发热不稳而Encode报警。

2.2 机械传动引起的Encode报警处理（1）Slit阀开关不畅，确认汽缸是否串气和电磁阀及气管是否漏气，调节汽缸行程。（2）Susceptor和Lift的升降不到位，确认电机及传动丝杆，Home Sensor挡片及Sensor。图1 R 传片路径             图2 Robot结构图3（3）Lift PIN断，调节好PIN与PIN孔距离。（4）Extension轴承卡阻力大，翻新手臂，润滑轴承(图4)。图4中国设备工程 2021.02 （上）59

Research and Exploration

研究与探索·生产管理与维护3 Extension电机驱动及异常分析3.1 电机驱动分析DC Power Supply给Chopper Driver Board提供24V和60V电源，Stepper Control Board收到SBC让电机运动的步数并给Chopper Driver Board 24V脉冲指令，Chopper

Driver Board收到Stepper Control Board指令输出60V脉冲电压驱动电机，如图5。3.2 根据电机驱动线路图引起Encode报警的原因（如图6）图5图6（1）Stepper Control Board异常时，Extension 电机驱动电压异常导致Encode报警。（2）J1(P103),P100 Cable异常引起电机驱动电压波动导致Encode报警。（3）Chopper Driver Board和电机异常直接导致驱动异常而Encode报警。4 系统Encode控制分析4.1 SEI PCB Encode控制4.2 电机Encode控制（图6）Encode输出电脉冲信号，信号输入到VME上的SEI板上。然后SEI计算处理收到的脉冲信号后，发送给SBC板。SBC板将从SEI传过来的信号和要求电机运动的步数进行误差比较，如果比较的结果在System Constant所设定的范围之内，则系统正常继续执行下一个动作；若误差超出范围，SBC则发送出错的指令（送出5VDC给DI/O板，通过DI/O板送出Hold信号和驱动Brake的信号给Chopper Driver，Chopper

60中国设备工程 2021.02 (上)图7图8Driver接收到指令后驱动电机上的刹车（Brake），使传片动作停止，出现Alarm。5 系统Encode控制异常引起的Encode报警原因和处理5.1 系统Encode控制异常引起的Encode报警的原因（1）Encode Cable异常引起的Encode报警。（2）系统控制板（DI/0板，SEI板，SBC板，VGA板）异常引起的Encode报警。（3）硬盘及VME 电源异常引起的Encode报警。5.2 系统Encode控制异常引起的Encode报警的处理Encode Cable异常确认电压，有5个5V电压（如图9）。图9电源异常可通过量电压确认。电路板及硬盘异常需要更换确认。6 设备干扰分析及处理由于RF的泄露会干扰到信号引起Encode报警，一般更换RF MATCH解决报警。７ 结语Encode报警原因有好多种，需要具体原因具体分析。首先判断Robot位置是否到位，没有到位按照机械传动和电机驱动方向解决；到位先排除是否干扰，然后按照Encode信号控制检查解决。Encode报警处理好后需要校准传片。